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真空镀膜中薄膜厚度的测量

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真空镀膜中薄膜厚度的测量

发布日期:2019-04-22 编辑:91599金沙游艺场生产厂家 点击:

真空镀膜中薄膜厚度的测量
        91599金沙游艺场随着科技的进步和精密仪器的应用,薄膜厚度测量方法有很多,按照测量的方式分可以分为两类:直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器,通过接触(或光接触)直接感应出薄膜的厚度。
常见的直接法测量有:螺旋测微法、精密轮廓扫描法(台阶法)、扫描电子显微法(SEM);

间接测量指根据一定对应的物理关系,91599金沙游艺场将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度,从而达到测量薄膜厚度的目的。

常见的间接法测量有:91599金沙游艺场称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、91599金沙游艺场椭圆偏振法。按照测量的原理可分为三类:称量法、电学法、光学法。
常见的称量法有:91599金沙游艺场天平法、石英法、原子数测定法;
常见的电学法有:电阻法、电容法、涡流法;
常见的光学方法有:等厚干涉法、变角干涉法、光吸取法、椭圆偏振法。

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